Както всички знаем, има само един производител в света, който може да произвежда EUV литография, това е холандската ASML.
И причината, поради която е единственият в света, това е, защото ASML ще бъде много ключови производители, обединени заедно, като например немската оптична компания Zeiss (Zeiss), а след това американската Cymer и след това германската Tom Fast Group (TRUMPF ) и така нататък.
ASML обвърза тези производители с колесницата си чрез инвестиции, придобивания, дялово участие, създаване на изследователски центрове и т.н., и тези производители, вероятно единствените производители в света, които могат да произвеждат тези продукти, така че в крайна сметка само ASML е в състояние да произвежда EUV литография в света.
Въпреки това, наскоро ключова верига за доставки на ASML се затича към Шенжен, Китай, за да построи фабрика, нейното дъщерно дружество в Шенжен се установява в китайско-германския (Европа) индустриален демонстрационен парк Baoan.
Този производител е немската Tom Fast Group (TRUMPF), това е EUV литографията на ASML, единственият в света доставчик на лазерни източници.
Продуктите на TRUMPF в EUV литографията, колко важни са? Първо, позволете ми да обясня принципа на EUV литографията, ще разберете.
Принципът на EUV литографията, казано по-просто, е съсредоточен върху три основни системи, EUV система за ултравиолетови източници на светлина, система от обективни лещи и система от маси.
Специфичният процес е да се използва лазерът за възбуждане на екстремна ултравиолетова светлина с дължина на вълната 13,5 nm и след това след корекция да се образува контролиран лъч светлина, след което този лъч светлина се проектира върху масата на фотомаската и след това се проектира през обектива огледало към масата за експониране и накрая гравира веригата върху силиконовата пластина, покрита с фоторезист.
Начинът, по който се получава една от системите с източници на UV UV светлина е чрез бомбардиране на метална капка калай (Sn) с CO2 лазер с мощност 30 kW, изпаряването му в плазма и накрая получаване на EUV светлина с дължина на вълната 13,5 nm.
Този 30 kW CO2 лазер е предоставен от TRUMPF, единственият по рода си в света.
Не подценявайте този CO2 лазер, той има 457 329 части, дължината на кабела в системата е до 7 322 метра, а теглото е 17 090 kg, което е един от най-важните основни компоненти в EUV литографията.
Сега TRUMPF изтича в Китай, за да построи фабрика, намерението е ясно, тоест оптимистично за китайския лазерен пазар и още по-дългосрочен поглед, оптимист за китайския пазар на литография, бъдещето може да си сътрудничи с Китай за изграждането на EUV литография .
Всъщност вече има повече от една верига за доставки на ASML, която се движи към Китай за изграждане на фабрика, преди да има KMWE и други производители, също към Китай за изграждане на фабрика.
Съгласно настоящата тенденция можем оптимистично да очакваме, че може да не мине много преди китайската литографска технология да бъде голяма крачка напред и дори обемът на продукцията EUV литография също може да очаква с нетърпение, мислите ли?
